氧氣測量在空分工藝制造中的重要意義：

 
隨著國民經(jīng)濟(jì)各部門的飛速發(fā)展，對氣體制造和應(yīng)用技術(shù)的要求越來越高。為穩(wěn)定工藝，確保產(chǎn)品氣體的質(zhì)量，不僅需要對整個(gè)工藝過程的熱力學(xué)參數(shù)，如溫度，壓力，流量等進(jìn)行測量和控制，而且對工藝過程的每個(gè)關(guān)鍵部位需要進(jìn)行成分量的測定和控制。在現(xiàn)階段，對成分量的測定和控制以逐漸成為不可缺少的工作環(huán)節(jié)。不僅如此，成分量的測定數(shù)據(jù)，對工藝條件變化反映及時(shí)準(zhǔn)確，直觀性強(qiáng)這一特點(diǎn)，足以使它可以成為操作人員的得力助手和重要參謀。因此，近十多年來，在氣體制造及應(yīng)用中，以成分分析儀器作為必要的配套設(shè)備已逐漸成為**質(zhì)量管理的一個(gè)重要發(fā)展趨勢。
成分分析儀器在氣體制造及應(yīng)用中的重要作用具體表現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：
(1)監(jiān)測工藝過程參數(shù)，為設(shè)計(jì)人員和生產(chǎn)操作人員及時(shí)提供所需成分含量數(shù)據(jù)，達(dá)到調(diào)整生產(chǎn)控制操作，穩(wěn)定工藝，以及改進(jìn)工藝和設(shè)備的目的。
(2) 監(jiān)測產(chǎn)品質(zhì)量，嚴(yán)格把關(guān)，保證產(chǎn)品質(zhì)量符合氣體標(biāo)準(zhǔn)及客戶的需要。
(3)監(jiān)測**生產(chǎn)，如對空分生產(chǎn)提供液氧中乙炔及碳?xì)浠衔锏葦?shù)據(jù)，及時(shí)反映生產(chǎn)中的問題，監(jiān)督超標(biāo)運(yùn)行，督促生產(chǎn)人員及時(shí)采取**措施。
本文僅以空分生產(chǎn)為例介紹氣體分析儀器的選用和配套。
二． 現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢：
1． 現(xiàn)狀：
(1)氣體制造和應(yīng)用技術(shù)的不斷發(fā)展，對分析儀器的不斷增加，對分析儀器質(zhì)量和性能要求也在不斷提高。廣大客戶的需要和眾多分析課題的迫切提出，大大促進(jìn)了國內(nèi)氣體分析儀器的進(jìn)一步發(fā)展。
(2)隨著氣體應(yīng)用技術(shù)的不斷提高，各氣體制造部門及應(yīng)用部門，為了加強(qiáng)企業(yè)質(zhì)量管理以及參與市場競爭，對成分量的監(jiān)測逐漸重視，注意安排適量資金選購及配套分析儀器，對培訓(xùn)人員，建設(shè)新型化驗(yàn)室等，這就使氣體分析工作提高到一個(gè)新的階段。
(3)隨著分析儀器制造技術(shù)的發(fā)展，國內(nèi)不少儀器廠家先后引進(jìn)了國外先進(jìn)儀器的制造技術(shù)，把國產(chǎn)儀器的制造水平提高到一個(gè)新的階段。另一方面，一些研究院（所）也相繼研制成功不少新的儀器設(shè)備。這也為提高國內(nèi)氣體制造水平及應(yīng)用技術(shù)的提高創(chuàng)造了有利的條件。
2． 發(fā)展趨勢：
隨著企業(yè)管理工作的不斷加強(qiáng)及縱深發(fā)展，追求效益，質(zhì)量，**已成為共同的努力目標(biāo)。在生產(chǎn)設(shè)備固定后，氣體生產(chǎn)管理的好壞，其中分析儀器起著非常重要的作用。國內(nèi)氣體分析儀器在應(yīng)用方面的發(fā)展趨勢表現(xiàn)在：
(1)加強(qiáng)配套監(jiān)測工藝操作的在線分析儀器?？杀ＷC及時(shí)發(fā)現(xiàn)及時(shí)調(diào)整操作參數(shù)，以穩(wěn)定工藝。這是自八十年代以來儀器應(yīng)用的趨勢。目前，國內(nèi)各氣體生產(chǎn)部門一般都配套一定數(shù)量的在線分析儀器。這種應(yīng)用正在逐漸得到推廣。
(2)加強(qiáng)氣體產(chǎn)品（及原材料氣體）的質(zhì)量監(jiān)測。對氣體制造廠來說，加強(qiáng)產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)測可確保出廠產(chǎn)品質(zhì)量合格，而對氣體應(yīng)用部門來說，加強(qiáng)購入氣體原材料的質(zhì)量監(jiān)測可確保本企業(yè)應(yīng)用中不因原材料氣不合格而影響本企業(yè)生產(chǎn)工藝及產(chǎn)品質(zhì)量。
(3)配備**分析儀器，進(jìn)行經(jīng)常性的**生產(chǎn)分析，積累數(shù)據(jù)，研究制定實(shí)施**措施，確保**生產(chǎn)。尤其是對易燃，易爆，高壓，低溫液化氣體，保證**生產(chǎn)及使用是非常重要的。
(4)采用國外先進(jìn)分析儀器配套工藝，彌補(bǔ)國內(nèi)儀器水平差距，有效的保障重要部門的生產(chǎn)及質(zhì)量監(jiān)控。目前，由于國內(nèi)儀器與國外先進(jìn)的儀器設(shè)備在性能，質(zhì)量等方面尚有不小的差距，因此，國內(nèi)各部門生產(chǎn)高純氣體的廠家為穩(wěn)定工藝，提高產(chǎn)品質(zhì)量，加強(qiáng)市場競爭，開始引進(jìn)國外先進(jìn)儀器設(shè)備。另外，部分生產(chǎn)工業(yè)氣體的廠家也選購部分可靠性較高的進(jìn)口儀器，作為在線監(jiān)測工藝使用。還有一些企業(yè)，引進(jìn)先進(jìn)的分析儀器是為建立標(biāo)準(zhǔn)傳遞，監(jiān)督與保證一線分析儀器的運(yùn)行完好率，從而建立并完善企業(yè)分析檢測系統(tǒng)和質(zhì)量監(jiān)控系統(tǒng)。
(5)近十年來，計(jì)算機(jī)的廣泛應(yīng)用使大中型空分設(shè)備的現(xiàn)代化管理又進(jìn)入了一個(gè)新的階段。然而，實(shí)現(xiàn)計(jì)算機(jī)管理的前提之一，是成分量的監(jiān)測還需具有相當(dāng)?shù)目尚行?，否則計(jì)算機(jī)就無法按照準(zhǔn)確的輸入進(jìn)行生產(chǎn)控制。因此，國內(nèi)大中型空分設(shè)備采用進(jìn)口的在線分析儀器配套也是近年來國內(nèi)空分新技術(shù)發(fā)展的一個(gè)趨勢。
三. 氣體制造使用分析儀器的配套：（以空分為例）
在空分生產(chǎn)中，氣體成分的分析監(jiān)測自成一個(gè)系統(tǒng)。該系統(tǒng)一般包括四個(gè)部分：（1）原材料分析；（2）生產(chǎn)控制監(jiān)測分析（在線監(jiān)測）；（3）產(chǎn)品質(zhì)量檢驗(yàn)；（4）**分析。
如果按照分析儀器的取樣方式和運(yùn)行狀態(tài)來分類，那么，一套空分裝置所需要的分析儀器包括兩大類：（1）連續(xù)在線分析監(jiān)測儀器；（2）非連續(xù)取樣實(shí)驗(yàn)室用分析儀器。
目前國內(nèi)大中型空分裝置所需分析儀器的配套形式一般分為三種：
(1) 全部國產(chǎn)儀器
例如，現(xiàn)在國內(nèi)生產(chǎn)的空分裝置，大部分由國內(nèi)分析儀器廠配套在線分析儀器。而實(shí)驗(yàn)室用分析儀器則多由各有關(guān)設(shè)計(jì)院（所）提供選購國內(nèi)分析儀器的方案。
以國產(chǎn)分析儀器為主的配套方法，儀器價(jià)格便宜，適合于對工藝和技術(shù)要求不高的場合。一般為小型及部分中型空分裝置配套所常見。
(2) 全部進(jìn)口儀器
以進(jìn)口儀器為主的配套方式，主要用于大型及中型空分裝置，對生產(chǎn)控制及產(chǎn)品質(zhì)量要求較高的場合，尤其是副產(chǎn)高純氣體，如氬、氮、氧、氦等（純度>99.999%）及高純度液化氣體的場合.例如,某合資廠自美國引進(jìn)大型空分裝置,配套在線分析儀器包括:氧分儀5臺(tái),微量氧分儀5臺(tái),微量水分儀3臺(tái),微量二氧化碳分析儀1臺(tái),微量氮分析儀1臺(tái),微量碳?xì)浠衔锓治鰞x1臺(tái)等.
又如,某廠合資后,雖然添置了國產(chǎn)大型空分裝置一套,但是,其在線分析儀器全部采用進(jìn)口分析儀器配套,共記11臺(tái),而且全部成套供貨.
(3) 部分進(jìn)口儀器及部分國產(chǎn)儀器
在資金有限而對分析儀器要求較高的場合,可選擇配套部分進(jìn)口儀器和部分國產(chǎn)儀器.對常量和一般微量氣體分析儀(通常>10ppm)可酌情選用國產(chǎn)儀器,而對<5ppm含量范圍的氣體成份分析則采用進(jìn)口儀器。如某鋼鐵公司氧氣廠進(jìn)口蘇聯(lián)制氧機(jī)，在蘇制儀器不耐用的情況下，改用進(jìn)口的分析儀器。
又如，某化工廠為進(jìn)口乙炔工程配套國產(chǎn)空分裝置，在線儀器為國產(chǎn)的，但同時(shí)進(jìn)口幾臺(tái)實(shí)驗(yàn)室用靈敏度及精度較高的分析儀器，作為標(biāo)準(zhǔn)儀器監(jiān)督檢查國產(chǎn)儀器運(yùn)行情況。
另外，某些設(shè)計(jì)研究所現(xiàn)在對設(shè)計(jì)配套或出廠的中型以上空分裝置也開始配套或者向客戶推薦進(jìn)口儀器了。這是提高國產(chǎn)空分裝置水平的一個(gè)新起點(diǎn)。
四. 外先進(jìn)分析儀器簡介
1.微量氣體分析儀器----帶放電離子化檢測器的氣相色譜儀,放電離子檢測器(DID)是一種通用的濃度型多功能檢測器,它利用高能光電離檢測樣品成分,*低檢測下限可達(dá)PPB級(jí)濃度.特別是當(dāng)?shù)讱鉃镹2,Ar,Ne,He,H2等氣體時(shí),可檢測其中的雜質(zhì)成份包括:H2,Ar,Ne,O2,CH4,CO,CO2。目前這種檢測器配套的氣相色譜儀已在世界各大氣體生產(chǎn)公司得到廣泛應(yīng)用，用以代替氦離子化檢測器配套的氣相色譜儀。
(1)工作原理
放電離子化檢測器的結(jié)構(gòu)如圖所示。該檢測器由電離室和放電室兩部分組成，兩室之間有狹路相通。當(dāng)在放電室內(nèi)的兩個(gè)高壓電極上加以適量高壓電后，兩電極之間就會(huì)產(chǎn)生放電，從而得到一束高能量的紫外光輻射（400-500nm）。高能紫外光被引入射向電離子室內(nèi)，在這過程中，高能光子直接照射樣品成分中被測雜質(zhì)成分，使其電離成離子，或者高能光子首先將載氣氦離子激發(fā)至亞穩(wěn)態(tài)（He*），然后，具有較高能量的He*再與樣品中雜質(zhì)分子發(fā)生非彈性碰撞并使其電離。此時(shí)在集電極上加以適當(dāng)電壓收集被電離的雜質(zhì)分子，并將其信號(hào)放大記錄即得到被測成分的譜峰。由于光子和亞穩(wěn)態(tài)氦原子均具有較高的能量（24.8ev），因此可使包括氖在內(nèi)的一切物質(zhì)分子電離，所以，DID是一種通用型檢測器。
(2)儀器組成及規(guī)格：（見儀器樣本）
(3)應(yīng)用：（見儀器樣本）
(4)與氦離子化色譜儀比較：
過去，在氣體制造和應(yīng)用部門多采用氦離子檢測器（HID）氣相色譜儀（如2700型）進(jìn)行高純氣體中痕量雜質(zhì)的測定。和HID比較，帶放電離子化（DID）檢測器的氣相色譜儀性能更為優(yōu)越，表現(xiàn)在：
①HID帶有氚源做為激發(fā)能源，但氚源因受半衰期的影響，能量隨時(shí)間逐漸下降，使儀器不能保持長時(shí)間穩(wěn)定，且易造成大氣污染。而DID不需要放射源，儀器穩(wěn)定性提高了，且無污染。
② 靈敏度可提高到5ppb以下，要比HID提高幾倍。
③和2700型HID相比采用多維色譜技術(shù)，柱分離功能設(shè)計(jì)更完善?？赏瓿汕扒?、后切、中心切割，解決主組分大峰掩蓋雜質(zhì)峰的問題，并可配毛細(xì)管柱。對特種氣體及部分有機(jī)氣體也能完成測定。
④ 配有氦純化器，將氦氣從99.995%純化到99.99999%He。從而使DID靈敏度得到有效提高。
⑤價(jià)格適中。和2700型HID氣相色譜儀相比，主機(jī)價(jià)格均為3萬多美元，但是，其功能和靈敏度指標(biāo)要優(yōu)于HID。因此，目前世界上各氣體制造廠家和電子公司客戶都將其作為更新?lián)Q代儀器產(chǎn)品使用。
⑥ 如連續(xù)在線測定或取樣測定氬氣體中雜質(zhì)氣體成分含量，則可采用高純氬作為載氣，會(huì)使操作成本低廉，使用更簡便。
2.氣體中微量水的測定儀器
(1) 電容式氧化鋁濕度計(jì)
在工業(yè)生產(chǎn)過程中和實(shí)驗(yàn)室內(nèi),常常需要對氣體中的水含量進(jìn)行測量,因此各種各樣的水分含量方法和儀器應(yīng)運(yùn)而生。雖然各種方法都有氣特點(diǎn)，但總的來說，對于工業(yè)生產(chǎn)過程中能夠快速、準(zhǔn)確地連續(xù)測量水分含量的方法仍然是極少的。眾多類型的濕度計(jì)都存在著因采樣引起的污染問題，采樣管路和器具的干濕度常會(huì)使原樣品中的含水量改變，濕度的不同將促進(jìn)產(chǎn)生新的氣液平衡，這些都會(huì)造成含水量的變化。
SHAW公司及PANA公司研制的由國外許多廠家廣泛采用的氧化鋁濕度計(jì)可以克服上述困難，完成在廣的含濕量范圍內(nèi)的在線連續(xù)監(jiān)測。
1)原理：濕度計(jì)的傳感器部分為一獨(dú)特的氧化鋁結(jié)構(gòu)，該濕度元件是用特殊的加工方法制成的。通常是將鋁片放在酸性介質(zhì)中通過交流電氧化，即形成厚度為一定的，孔徑均為一致的無定型氧化鋁層。再在沸水中煮沸，使其轉(zhuǎn)變?yōu)橛菜闲捅⊥龄X。用真空蒸發(fā)法在此氧化鋁上鍍上一層金膜，鋁片基底和金層形成電容器的兩個(gè)電極，用引線接出即構(gòu)成一濕敏元件。
在測量時(shí)由于金層很薄，水蒸氣分子可以迅速透過，然后在孔壁上達(dá)到平衡，（其他分子不能透過，它與敏感器周圍氣體中水蒸氣壓存在函數(shù)關(guān)系。氧化鋁層所吸收的水分子數(shù)決定了孔壁的電導(dǎo)率，每一孔壁電阻都有一具體數(shù)值，它就是水蒸氣壓的直接量度。
氧化鋁濕敏元件反應(yīng)非常迅速，當(dāng)水蒸氣濃度從10000微克/升降至10微克/升時(shí)，5秒內(nèi)輸出信號(hào)變化達(dá)到總含水量的63%。
2)測量：氧化鋁濕度計(jì)測量水蒸氣含量的范圍是從露點(diǎn)/霜點(diǎn)+20℃到-110℃。相當(dāng)于從20000微克水/升到0.001微克水/升。此儀器測量濕度的下限靈敏度比其他濕度計(jì)至少高兩個(gè)數(shù)量級(jí)。
3)應(yīng)用
1.在線測量：因儀器敏感元件尺寸很小，且不需要管路連接，也不需要調(diào)壓器等，可直接放在容器及工藝管路內(nèi)進(jìn)行無滯后測量，使用非常方便。信號(hào)還可以通過電纜遠(yuǎn)傳，進(jìn)行多點(diǎn)集中操作測量。敏感元件能夠在真空或高壓下進(jìn)行濕度測量，總壓范圍可由幾個(gè)微米汞柱到500磅/寸。對于靜止氣流或速度達(dá)1000厘米/秒的氣流可進(jìn)行正常的濕度測量。
氧化鋁濕度計(jì)還可以作成小型便攜式露點(diǎn)儀，作為非連續(xù)采樣分析用。這種儀器體積小，體重輕，快速測定，自動(dòng)干燥，使用非常方便。因其價(jià)格便宜，所以國內(nèi)不少廠家選用這種儀器作為瓶裝及管道氣體中水含量的快速檢測用儀器。
2.高靈敏度電解式濕度計(jì)
由于電解式濕度計(jì)具有運(yùn)行穩(wěn)定，不需經(jīng)常校驗(yàn)等優(yōu)點(diǎn)，故近年來國外發(fā)展了電解式濕度計(jì)，將其靈敏度大大提高，而且檢測下限達(dá)到PPB。如英國SYSTECH公司的電解濕度儀。MM1000型檢測范圍為0-10/100/1000ppmH20。儀器內(nèi)部管路全部為電拋光不銹鋼制，以便為水的吸附及脫附縮短平衡時(shí)間。此儀器專用于不含氫的超高純氣體中痕量水的檢測。
3.氣體中氧含量的測定儀器
在空分及其他氣體產(chǎn)品中，含氧量的檢測從來都是作為主要檢測項(xiàng)目來完成的，通常它包括常量、微量及痕量這樣一個(gè)濃度范圍很寬的檢測范圍。正因?yàn)檠鹾康臋z測具有如此重要的地位，所以國內(nèi)外不少廠家研制了各種不同種類的儀器產(chǎn)品。僅介紹其中兩類用于測定微量氧含量的儀器，這兩類也是空分和氣體制造過程中應(yīng)用*多*廣的儀器。
（1）燃料池式氧分析儀
1）原理：氣體中氧含量的測定是通過一個(gè)電化學(xué)傳感器-微型燃料電池完成的。在測定時(shí)，氣體中氧進(jìn)入儀器，擴(kuò)散到電池內(nèi)部，在電池兩極上產(chǎn)生電流的大小和氧濃度有一定的比例關(guān)系。若將燃料電池產(chǎn)生的微弱電流加以放大，并由二次表指示記錄，便可得知?dú)怏w中氧的含量。
①線性范圍寬，在常量及微量各不同測量范圍，有多種儀器形式。可用于25%-0.1ppmO2測定。
②響應(yīng)迅速。在0-1ppm內(nèi)達(dá)90%時(shí)<60秒；
在0-1000ppm內(nèi)達(dá)90%時(shí)<10秒；
③傳感器保養(yǎng)容易，微型燃料池傳感器是一個(gè)密封的電化學(xué)裝置，無需經(jīng)常添加電解液，也不要經(jīng)常清洗電極。
④用空氣校驗(yàn)，微型燃料池傳感器對于氧濃度產(chǎn)生一個(gè)線性輸出，故可以利用空氣（含氧20.95%）校驗(yàn)微量范圍的氧分析儀。對微量氧分析也可使用標(biāo)準(zhǔn)氣校驗(yàn)。
氧分析儀可配套一個(gè)氣體進(jìn)樣系統(tǒng)，尤其是當(dāng)用于在線分析時(shí)更需如此。對不同的使用條件可有不同的進(jìn)樣系統(tǒng)。
（2）赫茲電池式氧分析儀
赫茲電池式氧分析儀（即原電池式氧分析儀），屬于濕式氧分析儀。由于和燃料池式相比，該方法具有靈敏度高，響應(yīng)更快速，防干性好等優(yōu)點(diǎn)，近年來在國外發(fā)展很快，而且不同公司的產(chǎn)品有各自特點(diǎn)。
僅舉兩例：
1） 耐酸性氣干擾的DELTA F公司氧分析儀
DELTAF公司發(fā)展了一種在樣氣中存在酸性氣體成分不干擾測定的氧檢測方法。即在電解池內(nèi)部增加帶有非消耗電極的電解液調(diào)解系統(tǒng)（STAB-EL）。這樣，在樣氣中有酸性氣體存在時(shí)，可以防止酸性氣體存在使電極失效和中毒。
儀器特點(diǎn)是：
① 不會(huì)產(chǎn)生因酸氣干擾而顯示出不正常的低數(shù)值。
② 不需要頻繁校驗(yàn)。
③ 不需周期性更換電解池。
④ 對氧量瞬時(shí)過量的沖擊不靈敏。
⑤ 不需要在啟動(dòng)時(shí)校驗(yàn)儀器。
2） PPM-PPB級(jí)氧含量檢測的氧分析儀
英國SYSTECH公司生產(chǎn)的赫茲電池式低含量氧分析儀（176型及276型）可檢測10ppm-1ppb氧含量。儀器以微處理器為基礎(chǔ)，自動(dòng)量程，精密的質(zhì)量流量控制器，過氧及發(fā)生事故時(shí)報(bào)警。并配有自動(dòng)校驗(yàn)設(shè)備，任意定時(shí)自動(dòng)校驗(yàn)。
4.液氧中碳?xì)浠衔锓治鰞x
液氧中碳?xì)浠衔铮–nHm）分析是空分防爆工作中非常重要的基礎(chǔ)工作。目前，國內(nèi)許多廠家，尤其是有大、中型空分裝置的工廠紛紛建立健全這項(xiàng)分析。
液氧中CnHm的分析通常采用帶有氫焰檢測器的氣相色譜儀來完成，可一次取樣測定液氧中C1-C4共10余種有機(jī)化合物成分含量。
（1）原理：氫焰色譜法：氫火焰離子化檢測即以氫氣和空氣混合燃料形成的火焰作為能源，將載氣中樣品氣的有機(jī)成分帶入燃燒的火焰中，發(fā)生離子化反應(yīng)，生成許多離子對。當(dāng)火焰的上部及下部電極對上施加一定的電壓時(shí)，則會(huì)產(chǎn)生一定數(shù)量的離子流，離子流的大小與樣品中有機(jī)成分含量成正比，因而可由離子流大小的測定決定樣品氣中的有機(jī)物成分含量。
（2）儀器性能：
可測定液氧中碳?xì)浠衔锍煞值姆N類：CH4，C2H4，C2H6，C2H2，C3H6，C3H8，C4H10，C4H6等。
靈敏度：50ppbCH4。
儀器型式：在線型及實(shí)驗(yàn)室型。
應(yīng)用：根據(jù)氣體生產(chǎn)工藝不同的需要和具體的使用條件，儀器可分為在線式進(jìn)行自動(dòng)連續(xù)測定和在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)定時(shí)或隨機(jī)取樣分析兩類。如需監(jiān)測<10ppbC2H2時(shí)，則必須改用帶放電檢測器的氣相色譜儀才能完成。
5.凈化空氣中二氧化碳含量分析儀
在空分裝置中，凈化后入塔空氣中二氧化碳含量的監(jiān)測是一個(gè)非常重要的課題。但是，由于國內(nèi)缺少適用的儀器，而又往往對國外儀器水平不了解，故一些單位選購及配套十分不合理，不僅浪費(fèi)資金，還不能保證正常生產(chǎn)。如目前國內(nèi)大、中型空分一般配套在線CO2分析儀，其檢測下限范圍是0-20ppm，這樣所控制的濃度指標(biāo)是在儀器不靈敏范圍之內(nèi)，故儀器不能在控制指標(biāo)2ppm以下濃度范圍準(zhǔn)確測定并顯示結(jié)果。再者，若從在線分析儀器允許漂移范圍考慮，也不能達(dá)到監(jiān)測目的。
（1）原理：非分散紅外法：當(dāng)一束具有特定波長的紅外光射入氣體吸收池時(shí)，在池內(nèi)樣品氣中的二氧化碳將吸收這一波長的紅外光，使透過的紅外光在吸收光譜圖上產(chǎn)生一個(gè)吸收峰，此峰高度與二氧化碳含量成正比，從而得知?dú)怏w中二氧化碳含量。
（2）儀器性能：
檢測范圍：0-1/2/3/10/ppmCO2。
靈敏度：0。01ppmCO2或CH4、CO。
被測成分：可用檢測CO、CO2、CH4中任意兩種成分。
被測樣氣種類：N2，O2，Air、Ar、He等
6.流程氣相色譜儀
在空分生產(chǎn)中，有不少重要常量成分含量需要在線連續(xù)檢測和控制，如氬中過量氫含量分析，污氮中氧含量分析，粗氬中氧含量分析，氮中氫含量分析，氦中氮氧純度分析等。以上這些種常量分析通常采用熱導(dǎo)型氣體分析儀完成。一般空分廠（站）選用國產(chǎn)儀器較常見，但是，一些大、中型空分裝置，為確保生產(chǎn)正常運(yùn)行，減少不必要的麻煩，往往選用進(jìn)口儀器。
（1）原理，熱導(dǎo)型氣相色譜法
熱導(dǎo)池檢測器是根據(jù)不同物質(zhì)具有和載氣不同的導(dǎo)熱系數(shù)，當(dāng)通過熱導(dǎo)池孔道的氣體成分濃度發(fā)生變化時(shí)，就會(huì)從熱敏元件上帶走不同的熱量，從而引起元件阻值變化。這種阻值變化可以用電橋進(jìn)行測量，從而得知樣品氣體中被測成分的濃度值。
（2）儀器規(guī)格：根據(jù)不同需要有不同形式，一般來說廠家可提供從100ppm-100%范圍的任何含量檢測用儀器，這里不一一介紹了。